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PH: 1.952.469.5424   USA: 1.888.337.7282    
   
 

CF 系列金属化干燥和烧结炉


全球最畅销的金属化烧结炉

Despatch CF 系列金属化炉专为实现高吞吐量、 便于维护和取得一致的制程可重复性而设计,确保了始终如一的高产量和卓越的产品质量。

现在该炉具有更佳的热工过程控制,可弥补“实际作业”中的晶片流间断,从而显著提高作业单元的热稳定性。软启动将连接负荷降至 100 安培以下(单向), 以减小用电量和安装成本。

对于要求快速升温和冷却且质量稳定的工艺应用,CF 系列无疑是一种理想的选择。

除了这些出色的性能以外,所有机型均采用了增强的图形用户界面、视平式电子元件通道和首创的按钮式炉室通道。这些创新使 CF 系列使用更加方便, 最大限度地提高了性能和正常运行时间,并可实现最低拥有成本,同时创造最高效率的作业单元。

Despatch 的 CF 金属化炉有单向和双向两种配置,带 (CDF-SL, CDF-DL) 或不带 (CF-SL, CF-DL) 干燥炉。


CF 系列金属化干燥和烧结炉

CF Series Dual Lane Metallization Furnace

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  • 快速升温和降温
  • 均匀、稳定和可重复的腔体温度 (+/- 2oC)
  • 带远距离支座的织网传送带
  • 软启动,降低连接负载
  • 故障元件监测
  • 不间断电源
  • 闭回路温度控制设备
  • 增强型的软件配置管理
  • 先进的触摸屏图形用户界面
  • 总生产控制接口
  • 数据记录
  • 冗余过热停机
  • 最小化硅片阴影设计
  • 炉室出入安全方便
  • 视平式电子器件,便于维护
  • 边触式传送带
  • 中间排气装置
  • 定制干燥炉长度
  • 与硅片自动化设备集成
  • 定制传送带宽度
  • 水冷式热交换机r
  • 剖面自动监测系统
  • 水冷式挥发性有机化合物 (VOC) 冷凝器
  • 超声波炉带清洗干燥系统 X