
Despatch 的磁性退火工具(系统)用于数据存储行业制造读写磁头以及半导体行业制造 MRAM设备所必要的磁性退火制程。
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与市场上的其他工具(系统)相比,这些工具(系统)的制程控制和监控水平更为严格,灵活性更强,在全球得到广泛应用。优异的晶片(圆)温度控制均衡(温)性(优于+/- 1º C)大大提高了成品率。与其他工具(系统)相比,较快(的)加热和冷却速度还大幅缩短了周期时间。此外,我们的工具还可提供高真空水平、最高 500º C 的温度,以及最高 2.0 特斯拉的磁场。
将产品装入烧结炉之前,员工可通过自定义配置对产品批次标签进行扫描。炉室内的光学传感器可确认产品的存在。然后,操作员选择所需的处理参数文件并按显示的提示操作。在一个生产周期完成之前,如果周期中断或烤箱门打开,系统逻辑将发出警报并锁住烧结炉控件。

Despatch AST-3100为自动化晶片级加工度身设计,可容纳 200 毫米和 300 毫米晶片。该自动聚酰亚胺固化工具(系统)提高了生产能力,消除了处理错误,节省了宝贵的占用空间。
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