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测试设备能力
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太阳能能力:
生产线前段工艺能力
生产线后段工艺能力
测试设备能力
DESPATCH 太阳能测试能力:计量
“创新中心”可用的前段生产线设备与客户使用的设备比较。
工艺
创新中心
客户
范围
X
光学显微镜(视觉)
X
Goniometer(表面张力测试)
X
Sherrescan(薄层电阻测试)
X
X
MFM(磷浓度)
X
X
少子寿命测试仪
X
X
Sinton Suns-V
oc
X
X
I-V 检测(电池效率)
X
X
SIMS(发射极深度和剖面)
X
X
SheRRescan
SHERRESCAN 图形用户界面 (GUI) 和输出
SheRRescan 使用四点探针法测量发射结扩散后的硅片方块电阻
这表征了参杂的均匀性,并在一定程度上表明了扩散工艺这一步的质量
硅片方块电阻的分布图
方块电阻越高,电池效率越高
在右侧输出统计平均值和偏差值e
SINTON 工具
少子寿命测试仪
Voc 测试仪
测角器
显微镜
關鍵績效評價和預測工具晶圓品質
测角仪通过测量水滴与接触面形成的角度,确定电池的亲水性。
I-V TESTER
测量和评估电池效率以及电特性的主要特征参数
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