创新中心前道生产设备与客户自己厂房中使用的设备比较。
| 制程 |
创新中心 |
客户 |
| 切割损伤消除 |
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X
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| 表制绒 – 酸性 |
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X
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| 制绒 – 酸性 |
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X
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| 氧化 – 化学法（亲水性 |
X
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X
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| 氧化 – 非化学法（亲水性） |
X
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X
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| 化学沉积（P 型掺杂） |
X
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X
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| 链式热扩散 |
X
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X
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| 清除玻璃（磷硅玻璃） |
X
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X
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| 清除死层（ECN 清洗） |
X
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X
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| 化学品边缘隔离 |
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X
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| 电弧离子沉积 |
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X
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槽式湿法清洗设备及工艺能力
- 化学氧化法（使晶片更加亲水性）
- 金属和有机物化学清洗法（通过表面制绒制程）
- 玻璃清除 (HF)、死层清除（ECN 清洗）